http://ir-heating-tech.com/fr/tags/mou-doux/ Recent content in Mou; Doux on Advanced IR Heating Technology Hugo fr Sat, 06 Jun 2026 04:12:34 +0800 http://ir-heating-tech.com/fr/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Sat, 06 Jun 2026 04:12:34 +0800 http://ir-heating-tech.com/fr/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Élément de chauffage pour le préchauffage en lithographie"></p> <p>Sur le plancher de lithographie, un soft bake n’est pas simplement un échauffement. C’est une étape thermique strictement contrôlée qui stabilise la teneur en solvant, fixe l’adhérence du photoresist et influence directement le contrôle de la largeur des lignes. Une dérive d’un demi-degré peut décaler le TMU, et un <a href="https://o-yate.net">point</a> chaud peut se transformer en défaut récurrent sur la plaquette. Nous avons conçu l’élément chauffant pour éliminer cette incertitude dans le budget thermique.</p>