در خط تولید، تنها تغییر 0.5°C در دمای پخت فوتورزیست کافی است تا ابعاد بحرانی از محدوده مشخص خارج شده و کل یک دسته محصول خراب شود. شما به وعدهها نیاز ندارید. به یک پلتفرم حرارتی نیاز دارید که شیفت به شیفت، دمای ثابت را حفظ کند.
آنچه زیر پوسته اهمیت دارد
ما هیتر را حول یک فرستنده مادون قرمز موج کوتاه و یک هسته حرارتی پایدارشده با کوارتز طراحی کردیم. دستگاه سریع به دمای تنظیم شده میرسد و یکنواختی در سطح ویفر را در محدوده ±0.1°C حفظ میکند. این بستهبندی با محیط کلاس 1–100 cleanroom سازگار است و تولید ذرات را به صفر میرساند.
حلقه کنترل، تکرارپذیری دما را حتی در شرایط کار 24/7 زیر 0.05% نگه میدارد. نتیجه یک بودجه حرارتی قابل اطمینان برای پخت نرم، پخت سخت و پخت پس از تابش است—بدون نوسان بیش از حد و بدون تاخیر حرارتی.
چرا این در لیتوگرافی و رزیست موثر است
بازدهی به پایداری دما در سطح ویفر بستگی دارد، نه فقط در محل حسگر. یکنواختی دقیقتر به کنترل دقیقتر ابعاد بحرانی (CD)، کاهش کار دوباره و کاهش ضایعات منجر میشود. وقتی پروفیل حرارتی دسته به دسته تکرار شود، پنجره فرآیند بازتر میشود.
رسیدن سریعتر به دما و حداقل اتلاف حرارت در حالت بیکار، مصرف انرژی را کاهش میدهد. در بخش بستهبندی، همان پایداری باعث یکنواختی در پخت چسب و کنترل لایهلایه شدن میشود و تنش حرارتی را در محدوده مشخص حفظ میکند.
مواردی که باید برای آنها برنامهریزی کنید
واحد نیاز به باس تغذیه اختصاصی و خنککننده تمیز و خشک دارد تا پایداری بلندمدت حفظ شود. نصب در تجهیزات قدیمی ممکن است فضای کمی داشته باشد. برنامهریزی برای 48 ساعت Burn-in و کالیبراسیون لازم است تا نقشه یکنواختی تثبیت شود.
مطمئن شوید رابط دستگاه با کانکتور و جای نصب آن هماهنگ است. پس از همترازی، دستگاه بدون وقفه کار میکند. اما این مرحله ادغام اولیه غیرقابل چشمپوشی است اگر به تکرارپذیری نیاز دارید.