Vakuum on Advanced IR Heating Technology

Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Mon, 27 Jul 2026 09:10:05 +0800

Kontrolle der Sauberkeit: Heizung in Reinräumen der Klasse 100
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich die Probleme, die damit verbunden sind. Schon ein einziger Staubkorn oder eine kleine Menge Gas, die während des Heizvorgangs entweicht, kann dazu führen, dass die gesamte Produktionscharge unbrauchbar wird.

Die meisten herkömmlichen Infrarotlampen eignen sich nicht für diesen Zweck. Ihre Beschichtungen zerfallen oft, oder die Klebstoffe beginnen bereits bei hohen Temperaturen zu verdampfen. Das ist eine Katastrophe für die Ertragsrate. Wir lösen dieses Problem, indem wir hochreinen synthetischen Quarz sowie Materialien verwenden, die gut mit dem Vakuum umgehen können.

Infrarotheizer für Vakuumkammern

Wed, 22 Jul 2026 04:57:48 +0800

Hören Sie auf, Ihre Vakuumkammer als Ofen zu nutzen!
Wenn Sie bereits Erfahrung im Halbleiterverarbeitungsprozess haben, wissen Sie, wie schwierig das ist. Man muss die Wafer auf hohe Temperaturen bringen – doch man möchte nicht, dass die gesamte Vakuumkammer zu einem Ofen wird.

Herkömmliche Infrarotlampen sind ziemlich unpraktisch: Sie verteilen die Wärme überall. Ein großer Teil der Energie prallt einfach von der Wafer ab und trifft stattdessen die Innenwände der Kammer. Schon nach kurzer Zeit ist die Kammer so heiß, dass man sich Verbrennungen zuziehen kann. Zudem muss man sich Sorgen machen, dass der Rahmen der Kammer durch die Hitze verformt wird. Das ist wirklich lästig.