Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Fri, 17 Jul 2026 07:31:51 +0800

Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum wir Goldreflektoren verwenden
Seien wir ehrlich: Energieverschwendung bei der Verarbeitung von Wafern ist einfach ein Zeichen für schlechtes Design. Wenn man Hochleistungs-Infrarotlampen verwendet, gelangt nur ein kleiner Teil der Wärme tatsächlich auf das Substrat. Der größte Teil der Wärme entweicht an den Seiten oder wird zurückgestreut – dadurch wird die Luft in dem Raum erwärmt, anstatt das Produkt selbst. Hier kommt Gold ins Spiel.

Wir verwenden Goldbeschichtungen, weil sie hervorragend darin sind, Infrarotenergie zu reflektieren. Im Prinzip fungieren sie wie Spiegel für Wärme – sie leiten fast jede einzelne Watt-Einheit direkt auf die Wafer.

Hochpräzisions Temperaturheizer

Mon, 01 Jun 2026 20:31:35 +0800

Auf dem Fertigungsboden reicht eine Drift von 0,5°C während des Photoresist-Backens aus, um die kritischen Abmessungen außerhalb der Spezifikation zu bringen und eine gesamte Charge zu verwerten. Sie brauchen keine Versprechungen. Sie brauchen eine thermische Plattform, die Schicht für Schicht stabil bleibt.

Was unter der Haube zählt

Wir haben den Heizer um einen Kurzwell-Infrarotstrahler und einen quarzstabilisierten thermischen Kern aufgebaut. Er erreicht den Sollwert schnell und hält die Wafer-Uniformität auf ±0,1°C. Das Gehäuse ist Class 1–100 Reinraum-kompatibel und verhindert Partikelbildung vollständig.
Die Regelstrecke hält die Sollwertwiederholgenauigkeit unter 0,05 %, selbst bei Dauerbetrieb 24/7. Der Vorteil ist ein thermisches Budget, auf das Sie sich beim Softbake, Hardbake und Post-Exposure-Bake verlassen können – ohne Überschwingen, ohne thermische Verzögerung.

Temperatur on Advanced IR Heating Technology

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Hochpräzisions Temperaturheizer

Was unter der Haube zählt