Präziser Infrarotsensor für Wafer

Mon, 27 Jul 2026 09:45:13 +0800

Hören Sie auf, Energie an Ihren Wafern zu verschwenden!
Beim Bearbeiten von Wafern bedeutet jeder verschwendete Watt einfach Geld, das umsonst verloren geht. Noch schlimmer: Die verschwendete Energie führt oft zu einer ungleichmäßigen Erwärmung – was wiederum die Qualität der Wafern beeinträchtigt.

Deshalb verwenden wir IR-Reflektoren mit Goldbeschichtung. Das Ziel ist einfach: Die Hitze soll direkt auf die Wafer treffen und nicht in den Maschinenrahmen entweichen.

Warum Gold?
Sie sind vielleicht an herkömmliche Aluminiumreflektoren gewöhnt – doch diese saugen eine erstaunliche Menge an Energie auf. Wir nutzen stattdessen eine präzise Goldbeschichtung, denn Gold reflektiert Infrarotstrahlung viel besser. Es geht dabei nicht darum, dass die Maschine besonders attraktiv aussieht – es geht um Physik. Gold sorgt dafür, dass die Infrarotphotonen nahezu ohne Verlust reflektiert werden – dadurch entsteht ein viel intensiverer Wärmeausstrahlungspunkt.

Hochpräzisions Temperaturheizer

Mon, 01 Jun 2026 20:31:35 +0800

Auf dem Fertigungsboden reicht eine Drift von 0,5°C während des Photoresist-Backens aus, um die kritischen Abmessungen außerhalb der Spezifikation zu bringen und eine gesamte Charge zu verwerten. Sie brauchen keine Versprechungen. Sie brauchen eine thermische Plattform, die Schicht für Schicht stabil bleibt.

Was unter der Haube zählt

Wir haben den Heizer um einen Kurzwell-Infrarotstrahler und einen quarzstabilisierten thermischen Kern aufgebaut. Er erreicht den Sollwert schnell und hält die Wafer-Uniformität auf ±0,1°C. Das Gehäuse ist Class 1–100 Reinraum-kompatibel und verhindert Partikelbildung vollständig.
Die Regelstrecke hält die Sollwertwiederholgenauigkeit unter 0,05 %, selbst bei Dauerbetrieb 24/7. Der Vorteil ist ein thermisches Budget, auf das Sie sich beim Softbake, Hardbake und Post-Exposure-Bake verlassen können – ohne Überschwingen, ohne thermische Verzögerung.

Präzision on Advanced IR Heating Technology

Präziser Infrarotsensor für Wafer

Hochpräzisions Temperaturheizer

Was unter der Haube zählt