Ofen mit Infrarotheizer für Saalreinräume

Mon, 13 Jul 2026 15:01:37 +0800

Wenn Sie bereits Erfahrungen im Entwurf von Öfen für Reinraumumgebungen im Halbleiterbereich gesammelt haben, kennen Sie sicherlich das Problem der „heißen Wände“.
Es handelt sich dabei um ein klassisches Problem: Man verwendet Konvektionsheizung, um die Luft zu erwärmen – doch diese Luft bleibt nicht dort, wo man sie haben möchte. Sie erreicht alle Oberflächen. Schon bald sind die Außenwände des Geräts extrem heiß – was sowohl eine Sicherheitsgefahr darstellt als auch Energieverschwendung bedeutet.
Wir haben beschlossen, nicht mehr gegen die Bewegung der Luft anzukämpfen, sondern sie einfach zu ignorieren. Deshalb haben wir auf Richtungsirrenheizung zurückgegriffen.
Wie es tatsächlich funktioniert
Stellen Sie sich die IR-Heizung eher wie eine Taschenlampe vor – und nicht wie einen Raumheizer. Anstatt den ganzen Raum zu erwärmen, sendet sie elektromagnetische Strahlung in gerader Linie aus. Durch die richtige Anordnung der Lampen und den Einsatz von Reflektoren kann die Energie gezielt auf das Wafer oder Substrat gerichtet werden. Die Wärme gelangt genau dorthin, wo sie benötigt wird. Da die Wände des Gehäuses nicht in der „Feuerlinie“ liegen, bleiben sie kühl beim Berühren.
Leistung – und die Einschränkungen
Wenn man eine Hochleistungs-IR-Heizanlage in einem kleinen Raum unterbringt, ist die Wärmestärke enorm. Die Erwärmung erfolgt viel schneller als bei jedem anderen System, das ich bisher verwendet habe. Zudem kann man bestimmte Bereiche auf dem Tray erwärmen, ohne den Rest des Raumes zu erwärmen.
Doch es gibt auch Einschränkungen: Die Heizelemente werden extrem heiß, daher muss die Anordnung der Sensoren perfekt sein. Wenn der Pyrometer auch nur leicht fehlt, wird die gewünschte Temperatur bereits überschritten, bevor das System reagieren kann. Es handelt sich dabei um ein Spiel der Präzision.
Ein sichererer Arbeitsplatz
Das Beste daran: Da keine Energie mehr für die Erwärmung der Wände verbraucht wird, können man auf voluminöse Isolierungen sowie laute aktive Kühlsysteme verzichten. Das Gerät wird kleiner – und sieht außerdem sauberer aus. Vor allem aber müssen die Mitarbeiter kein Risiko eingehen, sich durch Berührung des Gehäuses zu verbrennen. Man hat somit volle Kontrolle über das Gerät – und es ist wirklich sicher in der Nutzung.

Ofen on Advanced IR Heating Technology

Ofen mit Infrarotheizer für Saalreinräume