Infrarot Heizmodule für Fabriken

Tue, 23 Jun 2026 00:28:25 +0800

Im Produktionsbereich ist die Erhitzungsschritte kein „Warm-up“-Prozess – sondern eine entscheidende Größe für die Qualität des Endprodukts. Schon eine Abweichung von einem halben Grad kann dazu führen, dass die kritischen Dimensionen beeinträchtigt werden und die Kontrolle über die Dicke der Schicht nicht mehr gewährleistet ist. Man benötigt daher eine zuverlässige Heizung – keine Heizung, bei der man auf Glück vertrauen muss.

Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Infrarotheizmodule, die eine Gleichmäßigkeit der Temperatur auf der Wafer-Oberfläche von ±0,1 °C garantieren. Dabei werden schnellt reagierende NIR-Quellen eingesetzt, die genau auf die Absorptions Eigenschaften des Photoresists abgestimmt sind. Das Design dieser Module ist quartsfrei und optimiert für die Verwendung mit Filamenten. Dadurch können sie in Reinräumen der Klasse 1–100 eingesetzt werden, ohne dass es zu Partikelbildung kommt. Die beheizte Zone soll außerdem verhindern, dass Gase oder Verunreinigungen in den Prozessraum gelangen.

Module on Advanced IR Heating Technology

Infrarot Heizmodule für Fabriken