IR on Advanced IR Heating Technology

Präziser Infrarotsensor für Wafer

Mon, 27 Jul 2026 09:45:13 +0800

Hören Sie auf, Energie an Ihren Wafern zu verschwenden!
Beim Bearbeiten von Wafern bedeutet jeder verschwendete Watt einfach Geld, das umsonst verloren geht. Noch schlimmer: Die verschwendete Energie führt oft zu einer ungleichmäßigen Erwärmung – was wiederum die Qualität der Wafern beeinträchtigt.

Deshalb verwenden wir IR-Reflektoren mit Goldbeschichtung. Das Ziel ist einfach: Die Hitze soll direkt auf die Wafer treffen und nicht in den Maschinenrahmen entweichen.

Warum Gold?
Sie sind vielleicht an herkömmliche Aluminiumreflektoren gewöhnt – doch diese saugen eine erstaunliche Menge an Energie auf. Wir nutzen stattdessen eine präzise Goldbeschichtung, denn Gold reflektiert Infrarotstrahlung viel besser. Es geht dabei nicht darum, dass die Maschine besonders attraktiv aussieht – es geht um Physik. Gold sorgt dafür, dass die Infrarotphotonen nahezu ohne Verlust reflektiert werden – dadurch entsteht ein viel intensiverer Wärmeausstrahlungspunkt.

Keramische Endkappe für IR Emitter

Fri, 24 Jul 2026 11:49:55 +0800

Das Leck stoppen: Warum keramische Endkappen für IR-Emitter wichtig sind
Wenn man versucht, den Kohlenstofffußabdruck einer Halbleiterfabrik zu verringern, muss man mit dem Thema Wärme beginnen. Das klingt einfach – doch bei der Waferverarbeitung bedeutet jede verschwendete Energiemenge Geld und Energie, die einfach verloren gehen.

Deshalb kommen keramische Endkappen ins Spiel. Wenn man Hochleistungs-Lampen verwendet, strahlt die Wärme an den Enden dieser Lampen ab. Mit herkömmlichen Metallendkappen wird diese Wärme aufgenommen – doch dadurch entgeht sie genau dort, wo sie eigentlich benötigt wird.

Aluminiumreflektor für IR Lampe

Sun, 19 Jul 2026 16:13:52 +0800

Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, ist die Temperatur nur die halbe Miete. Das eigentliche Problem sind die Staubpartikel.

Die meisten herkömmlichen IR-Heizgeräte sind in solchen Räumen ein Albtraum – sie geben bei jedem Einschalten und Ausschalten feine Partikel ab. Das führt zu Problemen. Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Wir verwenden hochreinen Quarz sowie speziell gefertigte Aluminiumreflektoren.

Warum die Materialien wichtig sind
Für die Leuchtstoffröhren verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz. Warum? Weil billiges Glas mit der Zeit kristallisiert und damit mikroskopisch kleine Fragmente freisetzt, die auf die Arbeitsfläche fallen. Mit synthetischem Quarz bleibt die thermische Ausdehnung konstant – es gibt keine Abbrispechte. Nur saubere Wärme.