CE zertifizierter Halbleiterheizer

Tue, 23 Jun 2026 00:20:16 +0800

Auf der Lithografieebene reicht bereits eine Abweichung von 0,3 °C beim Erhitzen des Photoresists aus, um zu Fehlern bei der Herstellung zu führen – Fehler, die bis zur Endprüfung bestehen bleiben. Es gibt keine Möglichkeit, den Vorgang noch einmal durchzuführen. Wir haben diesen CE-zertifizierten Halbleiterheizer entwickelt, damit das thermische Verhalten im Rahmen der vorgegebenen Parameter bleibt – Schicht für Schicht.

Was wirklich wichtig ist:
Der Heizer arbeitet mit einem Kurzwellen-Infrarotelement sowie einem aus Quarz bestehenden Wärmeleitweg. Dadurch kann er schnell reagieren und ein stabiles Temperaturniveau erreichen. In der Erhitzungszone bleibt die Gleichmäßigkeit auf dem Wafer-Niveau bei ±0,1 °C – die Wiederholgenauigkeit ist so hoch, dass die SPC-Daten nicht problematisch sind. Der Heizer entspricht den Anforderungen eines Reinraums: Er ist für Klassen 1–100 geeignet, verwendet Materialien mit geringer Gasemission und sorgt dafür, dass keine Partikel entstehen. Die Konstruktion ist für einen 24/7-Betrieb ausgelegt – mit Schutzschaltungen und festen Anschlüssen, die einen konstanten Betriebszustand gewährleisten.

Genehmigt on Advanced IR Heating Technology

CE zertifizierter Halbleiterheizer