Senzor teploty pro nástroj na desky

Fri, 17 Jul 2026 07:33:01 +0800

Přestaňte plýtvat energií: Proč používáme zlaté reflexory

Buďme upřímní: plýtvání energií při zpracování destiček je prostě špatný návrh.
Když používáte vysoce výkonné infračervené lampy, velká část této energie vlastně nezasáhne substrát. Prostě uniká po stranách nebo se odráží zpět, čímž se zahřívá vzduch v provozovně místo produktu. A právě tady přichází na řadu zlato.
Používáme zlaté povlaky, protože jsou nejlepší v odražení infračervené energie. V podstatě fungují jako zrcadlo pro teplo – téměř každý watt energie je tak posílán přímo na destičku.
Klíčem je správný směr.
Standardní křemíkové lampy rozptylují teplo všude kolem. Díky zlatému reflexoru měníme situaci. Jelikož zlato odráží více než 98 % této infračervené energie, vzniká koncentrovaná oblast vyšší teploty.
Nejlepší na tom je, že na destičce dosáhnete mnohem vyšší hustoty tepla, aniž byste museli použít více energie z elektrické sítě. Neházíte tedy jen více energie do problému – prostě nasměrujete energii, kterou už máte, správným směrem.
Několik věcí, na které je potřeba myslet.
Tyto reflexory jsou navrženy tak, aby odolaly náročným teplotním podmínkám. Zlatá vrstva je tenká, ale pevně přilepená, takže se během těchto extrémních teplotních cyklů neodlupuje. Všimnete si, že doba nastartování procesu bude mnohem kratší.
Ale je tu jeden problém: kvůli agresivnímu přenosu energie je potřeba být opatrní. Pokud je váš systém PID trochu pomalý, můžete překročit cílovou teplotu. Budete muset kalibrovat senzory tak, aby pracovaly v užším rozsahu. A prosím, nevkládejte je do zařízení s nižšími parametry, aniž byste nejprve zkontrolovali systém chlazení. Bude to opravdu horko.Velmi horko.
Co to vlastně přináší vaší firmě.
Když používáte zlaté reflexory, nepotřebujete tolik lamp k dosažení cílové teploty. To znamená, že vaše zařízení zabírá méně prostoru. Navíc nemusí HVAC systém tak intenzivně pracovat na udržení chladu v místnosti.
Tyto reflexory jsme navrhli jako náhrady za stávající zařízení, abyste mohli zkrátit dobu provozu. Dosáhnete tak stabilnějšího teplotního profilu na celé destičce, a to s menší spotřebou energie. Je to prostě logické.

Vysoce přesný teplotní ohřívač

Mon, 01 Jun 2026 20:31:35 +0800

Na výrobní lince stačí posun o 0,5 °C během pečení fotorezistu k tomu, aby došlo ke změně kritických rozměrů mimo specifikace a ke znehodnocení celé šarže. Nepotřebujete sliby. Potřebujete tepelnou platformu, která udrží stabilitu změny po změně.

Co je důležité pod povrchem

Topné těleso jsme postavili kolem krátkovlnného infračerveného emitora a křemenného stabilizovaného tepelného jádra. Rychle dosáhne nastavené teploty a udržuje uniformitu na úrovni waferu v rozmezí ±0,1 °C. Zařízení je kompatibilní s čistým prostředím třídy 1–100 a zajišťuje nulovou produkci částic.
Regulace udržuje opakovatelnost nastavené hodnoty pod 0,05 % i při nepřetržitém provozu 24/7. Výsledkem je tepelný rozpočet, na který lze spolehnout při soft bake, hard bake i post-exposure bake — bez překmitů a bez tepelného zpoždění.

Teplota on Advanced IR Heating Technology

Senzor teploty pro nástroj na desky

Přestaňte plýtvat energií: Proč používáme zlaté reflexory

Vysoce přesný teplotní ohřívač

Co je důležité pod povrchem