V provozním prostoru není krok pečení jen formou „zahřátí“. Jde o klíčový faktor, který rozhoduje o úspěchu celého procesu. I poloviční odchylka v teplotě může vést k poruchám v kritických rozměrech a narušit kontrolu šířky linie. Potřebujete tedy teplotu, na kterou se můžete spolehnout – ne teplotu, u které musíte držet palec nahoru.
Co je důležité pod povrchem
Používáme infračervené vyhřívací moduly, které udržují rovnoměrnost teploty na úrovni waferu na hodnotě ±0,1 °C. Používáme rychle reagující zdroje IR světla, které odpovídají způsobu absorpce světla fotorezistem. Konstrukce je bez křemíku a je optimalizována pro použití s vlákny – takže může být použita v čistých prostorách třídy 1–100 bez vzniku částic. Zahřívaná oblast je navržena tak, aby zabránila úniku plynů a kontaminaci do procesní komory.
Opakovatelnost teploty zůstává vysoká během jednotlivých kroků pečení – měkké pečení slouží k odstranění rozpouštědel, tvrdé pečení zase k zlepšení přilnavosti a odolnosti vůči leptání. Tak každá série dostane stejnou teplotní hodnotu.
Proč to má vliv na celý proces
Díky tomu dosahujeme stability tam, kde je to důležité: při nanášení fotorezistu, při zachování rovnoměrnosti CD a při zvyšování výtěžnosti. Přesnější kontrola teploty snižuje odchylky v rámci samotného waferu a eliminuje potřebu oprav.
Tyto moduly také snižují spotřebu energie. Rychlé zvyšování teploty a cílené ohřevání snižují tepelné zatížení platformy a celého zařízení. Díky 24/7 spolehlivosti a menším odchylkám teploty se snižuje doba nepřetržitého provozu a zkracuje se doba cyklu – bez poškození fotorezistu.
Na co se musíte připravit předem
Tyto moduly vyžadují čisté elektrické prostředí a efektivní chlazení: stabilní napětí a dostatečný průtok vzduchu, aby emitor zůstal při určené teplotě. Moduly se dobře integrují do existujících systémů nanášení/foukání, ale je potřeba předem naplánovat jejich umístění a trasy chlazení. Očekávejte krátké období kalibrace pro nastavení rychlosti zvyšování teploty a dalších parametrů. Jakmile je to nastaveno, proces zůstane stabilní a teplota zůstane v požadovaných mezích.