লিথোগ্রাফি ফ্লোরে, একটি সফট বেক শুধুমাত্র একটি উষ্ণ-আপ নয়। এটি একটি কড়া নিয়ন্ত্রিত তাপীয় পদক্ষেপ যা দ্রবীভূত পদার্থের বিষয়বস্তু লক করে, ফটোরেজিস্ট আঠালো স্থির করে এবং লাইনওয়idth নিয়ন্ত্রণে সরাসরি প্রভাব ফেলে। আধা-ডিগ্রি স্থানচ্যুতি TMU পরিবর্তন করতে পারে, এবং একটি গরম স্থানে একটি পুনরাবৃত্ত ত্রুটি হয়ে উঠতে পারে পুরো ওয়েফারে। আমরা তাপীয় বাজেট থেকে সেই অনিশ্চয়তা দূর করার জন্য তাপনিরোধক উপাদানটি নির্মাণ করেছি।
ফ্লোরে গুরুত্বপূর্ণ হল সেই কার্যকারিতা যা আপনি ট্র্যাকটি কঠোরভাবে চালানোর সময় নির্ভরযোগ্যভাবে আশা করতে পারেন। হিটার দ্রুত স্থির হয়, বেক সারফেস জুড়ে স্থির-অবস্থার সমতা ধরে রাখে, এবং উৎপাদন ক্লিনরুমে পরিষ্কার থাকে। আমরা ওয়েফার-স্তরের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ দেখি বেক সারফেস জুড়ে ±0.1°C স্থির-অবস্থার সমতা সহ, এবং ব্যাচ থেকে ব্যাচে ±0.2°C এর মধ্যে পুনরাবৃত্তি। কণার উৎপাদন কম রাখা হয় নিম্ন-আউটগ্যাসিং উপকরণ এবং একটি পৃষ্ঠের ফিনিশের সাথে যা ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমের সীমাবদ্ধতা পূরণ করে। প্রতিক্রিয়া যথেষ্ট দ্রুত যাতে সাইকেল সময় স্থির থাকে, এবং তাপীয় প্রফাইল ২৪ ঘণ্টা ধরে পুনরাবৃত্তিমূলক থাকে—ক্ষেত্রের ইতিহাসে কোন অপ্রত্যাশিত অচলাবস্থা নেই। এই উপাদানটি লিথোগ্রাফি সফট বেক স্টেশনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, যেখানে তাপমাত্রার সঠিকতা ত্রুটি হ্রাস এবং উৎপাদনশীলতার সাথে সরাসরি সম্পর্কিত। আপনি ধারাবাহিক ফটোরেজিস্ট বেক কার্যকারিতা, কম স্ক্র্যাপ ওয়েফার এবং কম পুনঃকাজ পাবেন। শক্তি ব্যবহারের পরিমাণ কার্যকরী তাপনিরোধক এবং ন্যূনতম তাপীয় ভরের মাধ্যমে কমানো হয়েছে, তাই অপারেটিং খরচ কমে যায় বেক গুণমানের সাথে আপোষ না করেই। শেষ ফলাফল হল একটি প্রক্রিয়া স্থায়িত্ব যা আপনি নথিভুক্ত, নিরীক্ষণ এবং সমর্থন করতে পারেন। আপনি ইনস্টল করার আগে, টুল স্তরে সামঞ্জস্য নিশ্চিত করুন। মাউন্টিং মাত্রা, টার্মিনাল কনফিগারেশন এবং উপলব্ধ তাপীয় বাজেট চেক করুন। উপাদানটি কেবল তখনই তার স্পেক পূরণ করবে যখন স্টেশনের তাপমাত্রা সেন্সর ক্যালিব্রেশন এবং বায়ু প্রবাহ সহনশীলতার মধ্যে রাখা হয়। একটি টুল প্রতিরোধমূলক রক্ষণাবেক্ষণ ঘটনার পরে, এটি সম্পূর্ণ সঠিকতার জন্য ফিরে আসার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত উষ্ণ-আপ দিন।